倍福文学

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第413章 启动产线建设（第3页）

吕辰换了支红粉笔，在黑板上写下十几个关键词：

光刻机的总装

扫描电子显微镜交付

特种气体安全系统

纯水系统在线监测

工艺设备接口标准化

……

他逐一解释：

“第一，光刻机。长光所专门为63o5厂设计的光刻机，其制造分散在全国多个保密单位。现在，所有零件和分系统正向长春集结，完成次技术总装，验证接口和基本功能后，再拆解为双工件台系统、投影物镜系统、照明与对准系统等核心模块，运抵63o5厂。该机总重十二吨，每个模块都配有经过计算的专用减震运输箱。运输、开箱、就位、模块间精密度对接，每一个环节都不能出错。”

“第二，扫描电镜。真空所和北大等协作组正在攻关的原型机，原定十月底交付，但目前进度滞后。没有电镜，我们无法观测芯片的微观结构，等于瞎子做手术。”

“第三，特种气体。硅烷、磷烷、砷烷，这些气体易燃易爆有毒，储存、输送、尾气处理，安全要求极高。一旦泄漏，后果不堪设想。”

“第四，纯水。18.2兆欧·厘米的电阻率，听起来是个数字，但要持续稳定地达到这个标准，需要整个系统——从反渗透、离子交换、紫外线杀菌到终端过滤——每一个环节都完美无缺。”

“第五，接口标准化。我们这次的设备，有国产的，有进口的，有各单位自研的。电源接口、气路接口、水路接口、控制信号接口，标准不一。现在不统一，安装时就会打架。”

……

吕辰一直就了两个小时，才放下粉笔。

会议室里沉默了几秒。

“问题都摆出来了。”

刘星海开口，“下面，讨论解决方案。”

接下来的三个小时，会议进入了实质性讨论。

先成立了“现场联合指挥部”

，由陈光远、丘岩、李怀德的代表共同组成，常驻工地，实现问题“小时级”

响应。

建立了“工艺-基建-设备”

三方每日对接会制度，要求设计方、施工方、设备方、工艺专家每天下午五点开会，解决当天出现的问题。

细化了“专家组-施工队”

结对子方案。

为每个关键设备或系统指定一名专家或骨干，与安装队“同吃同住同劳动”

，负责技术交底和质量确认。

确定了“边安装、边培训”