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厂房高约十五米,长约一百二十米,宽六十米。
人站在它面前,就像蚂蚁站在大象脚下。
大门是特制的双层密封门,外层是厚重的钢制门板,内层是带橡胶密封条的防火门。
此刻大门敞开着,里面传出各种有层次的声音。
众人跟随丘岩,踏进厂房。
那一瞬间,仿佛进入了另一个世界。
主体结构已经完成,但内部仍是“裸露”
状态。
挑高远普通厂房,目测有十二米以上。
这是为了给未来巨大的空调风管、综合管廊和设备吊装预留空间。
人站在厂房中央抬头望,会不由自主地感到自己的渺小。
头顶是纵横交错的钢结构。
粗壮的工字钢和h型钢,像巨人的骨架,横跨整个厂房。
这些钢梁上已经焊接好了吊装轨道和固定点,未来将用于支撑设备、风管和各种管线。
此刻,工人们正在钢梁上作业。
他们像蜘蛛一样在高空移动,系着安全带,动作娴熟而谨慎。
银白色的巨大风管正被一节节吊装上去,粗的直径有一米多,细的也有二三十公分。
风管表面光洁,接缝处焊接得严丝合缝。
除了风管,还有各种颜色的管道。
蓝色的管道是纯水系统,从动力中心延伸过来,像一条蓝色的动脉;黄色的是特种气体供应系统,氮气、氩气、氦气,未来还会有硅烷、磷烷这些危险气体;红色的是消防管道;灰色的是真空管道。
这些管道粗壮、笔直,布满了法兰、阀门和压力表,在钢架上平行排列,望过去就像一幅巨大的工业抽象画。
“这些管道……”
半导体所的王守仁所长推了推眼镜,仔细打量着,“全都是316L不锈钢?”
“大部分是。”
陪同参观的建筑师回答,“纯水和特种气体系统用的是进口的316L电解抛光管,内壁粗糙度要求Ra≤o.4微米。真空系统用的是3o4不锈钢,但焊接要求极高,全部是氩弧焊,焊后还要做钝化处理。”
王守仁点点头,没再说话,但从他紧抿的嘴唇可以看出,他对这个标准是满意的。
众人继续往里走。
厂房的核心区域,景象更加震撼。
这里将来会是c1ass1oo甚至更高的净环境,是芯片制造最核心的“洁净岛”
。
但现在,它还像个巨大的、未封顶的“玻璃鱼缸”
骨架。
巨大的金属框架已经搭起,高约三米,占地近两千平方米。
框架是用特制的铝型材组装而成,表面做阳极氧化处理,呈哑光的银灰色。
工人们正在框架顶部安装风机过滤单元。
那些单元每个约一米见方,外壳是不锈钢的,正面是密密麻麻的蜂窝状孔洞,那是高效过滤器的出风面。
工人们两人一组,用特制的吊具将单元小心地吊装到指定位置,然后用螺栓固定。
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