倍福文学

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第386章 总纲（第1页）

红星轧钢厂，蝉鸣如沸。

动力车间的改造仓库里，空气凝重得能拧出水来。

长条桌上摊开的图纸、笔记本、计算草稿已经堆成了小山。

烟灰缸满了一次又一次，两个巨大的落地扇，吹不散那股混合着烟味、汗味和墨水味的气息。

那是高强度脑力劳动后独有的战场硝烟。

二十多位中国顶尖的半导体、机械、电力等领域专家、建筑大师、工程师、青年技术骨干，在这十天里进行了一场前所未有的“思维熔炼”

。

此刻，是第八天的下午四点。

吕辰站在仓库前方那块写满又擦掉无数次的黑板前，手中的粉笔停在半空。

他的眼圈发黑，衬衫袖口卷到肘部，上面沾着粉笔灰和不知何时溅上的墨水。

“那么，‘扩散炉区域独立基础，与主厂房地基完全脱开，防微振等级Z级。’这一条，最后确认？”

他的声音有些沙哑，但依然清晰。

坐在前排的扩散工艺专家徐工缓缓点头：“确认。我们的扩散炉对振动极其敏感，地基传来的微小震动都会影响掺杂均匀性。必须完全脱开。”

建筑团队的年轻建筑师飞快记录：“Z级，0.5微米每秒。这是比精密仪器实验室还要严苛的标准。”

梁先生点点头，温和道：“我们会专门设计弹簧隔振基础。”

吕辰在黑板上写下最后一行字，然后缓缓放下粉笔。

他转过身：“各位老师，各位同志。那么，经过八研讨，我们完成了《6305厂工艺-空间集成总纲》的初稿。”

没有掌声，没有欢呼。

只有一片深长的、如释重负的寂静。

然后，有人轻轻舒了口气；有人向后靠在椅背上，闭上了眼睛；有人点燃了今天的不知道第几支烟。

陈光远站起身，走到吕辰身边，拍了拍他的肩膀，然后转向众人：“这十天，辛苦大家了。我们做了一件开天辟地的事，为中国的第一条集成电路生产线，画出了第一张真正意义上的‘全身骨骼图’。”

他拿起桌上那份厚达两百多页的油印材料，封面上是手写的标题：《6305厂工艺-空间集成总纲（初稿）——星河计划技术-建筑协同研讨会成果汇编》。

“这不是最终版。”

陈光远的声音在安静的仓库里回荡，“但这已经是我们目前所能达到的最系统、最深入、最接近‘可施工’的规划。”

他翻开总纲的目录页，一页页念过那些凝聚着十天心血的部分。

“第一章，工艺模块定义与核心参数。从‘拉晶’开始，到‘氧化’、‘光刻’、‘刻蚀’、‘扩散’、‘离子注入’、‘薄膜沉积’、‘金属化’、‘测试’、‘封装’……，每一个环节，我们明确了输入条件、核心工艺参数、输出标准。”

“更重要的是，”

陈光远抬头，“我们统一了语言。什么是‘Class100’洁净度？不是‘很干净’，而是‘每立方英尺空气中，直径大于等于0.5微米的颗粒数不超过100个’。什么是‘温湿度容忍度’？光刻区是‘温度23±0.5°C，湿度45±5%RH’。什么是‘振动容许值’？核心区域地面振动速度必须小于0.5微米每秒。”

他顿了顿：“从前，每个单位有自己的‘行话’。长光所说‘对准精度’，半导体所说‘掺杂均匀性’，真空所说‘薄膜应力’。现在，我们有了共同的尺子和量杯。”

会议室里，专家们纷纷点头。

这或许是十天里最艰难的收获之一，让来自不同领域、有着不同思维习惯和技术语言体系的专家们，真正听懂彼此在说什么，并且达成共识。

“第二章，硅片流与厂区动线。”

陈光远继续，“我们绘制了硅片从进厂到出厂的全流程物理路径和状态变化图。”

吕辰走到墙边，揭开覆盖在一张大图纸上的白布。

那是一张长达三米的厂区平面示意图，上面用不同颜色的线条标注着硅片的流动路径。

蓝色箭头代表原材料硅片进入，经过一道道工序，颜色逐渐变化，最终在另一端变成红色的成品芯片流出。