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第302章 汤渺到来（第1页）

第二日一早，吕辰、宋颜、谢凯三人乘车前往位于杨浦区军工路1146号——上海机床厂。

相比于胶片厂、试剂厂的化学气息，红星轧钢厂出身的三人，更喜欢机床厂区的金属切削液和机油气味。

对他们来说，机床厂排列成行的龙门刨床、立式车床、万能铣床等工业母机，忙碌的工作，各种精密零件，才是熟悉的气息。

递交“星河计划”

光刻组精密机械需求清单的过程异常顺利，甚至不能称之为递交，更像是内部的文件流转确认。

“宋教授、吕辰同志、谢凯同志，一路辛苦了！”

技术科的孙科长热情地迎上来握手，“刘工从长春打来过电话，说你们这几天到。清单的草案我们早就研究过了，刘工在长光所那边，和我们、哈工大、武水院的专家开了好几次电话会，逐条推敲的。”

会议室里，孙科长将一份装订整齐的技术文件推到三人面前。封面上印着《“星河计划”

光刻机精密机械子系统技术要求（V2.3）》的字样，右下角标注着参与单位：长春光机所、哈尔滨工业大学、武汉水利电力学院、上海机床厂、清华大学、红星工业研究所。

“这是根据各方反馈整合后的正式版。”

孙科长翻开文件，指着一处用红笔修改的地方，“比如这个‘工作台定位精度±0.1微米’，武水院的专家结合未来洁净厂房微振动控制的数据，建议改为±0.08微米，更符合实际工况。我们和长光所、哈工大论证后采纳了。”

吕辰快速浏览着文件，心中涌起一股暖流。

这不再是他们最初那份略显理想化的清单，而是凝聚了全国多个顶尖单位智慧的、可执行可验证的技术规范。

每一处修改背后，都可能是一次长途电话会议、一叠演算纸、甚至是一轮激烈的技术争论。

宋颜教授感慨道：“孙科长，看到这份文件，我们更深切地感受到‘星河计划’不是一个人在战斗。刘工在长光所一线攻坚，你们在后方夯实基础，哈工大、武水院提供专项支撑……这才是真正的全国一盘棋。”

“一家人不说两家话。”

孙科长笑着摆摆手，“刘工是我们厂派出去的骨干，他在长光所代表的不光是光机组，也带着我们机床厂全体技术人员的期望。这份清单上的每一个指标，都关系到未来光刻机能不能造出来、造出来能不能用。我们厂党委专门开了会，把配合‘星河计划’列为头等重要的政治任务和技术攻坚方向。”

接下来的讨论更像是一次项目进度同步会。

孙科长详细介绍了机床厂目前的准备情况：“气浮导轨的原理样机已经完成，用的是你们红星所提供的‘掐丝珐琅’电路板做控制，目前静态悬浮稳定性达到设计要求的70%。问题出在动态响应上，快速运动时气膜厚度波动太大，导致定位抖动。”

“激光干涉测量系统，我们和上海光学仪器厂联合攻关，氦氖激光器的稳定性基本解决，但干涉信号在车间环境下的抗干扰能力还不足，特别是大型设备启停时的电网扰动。”

“最难的还是那个‘压电陶瓷微动台’。压电陶瓷材料国内能小批量做，但性能离散度大，迟滞和非线性严重。我们正在和硅酸盐研究所合作，尝试改进配方和极化工艺……”

吕辰认真地听着，不时在笔记本上记录。

他注意到，孙科长提到的每一个技术难点，几乎都能在清单草案的备注栏里找到对应的风险提示，那是刘工和各位专家提前预判到的“深水区”

。

“孙科长，关于压电陶瓷的非线性补偿，”

吕辰抬起头，“我们集成电路实验室的诸葛彪同志，最近在研究一种基于查找表的自适应补偿算法模型。虽然是为晶体管特性补偿设计的，但思想是相通的。如果需要，我们可以把初步思路和数学模型分享过来。”

孙科长眼睛一亮：“太好了！我们正缺这方面的理论支持。压电陶瓷的位移和电压关系不是简单的线性，每次运动轨迹不同，迟滞曲线都略有差异。如果能建立实时补偿模型，精度至少能提升一个数量级！”

讨论持续了两个多小时。

没有客套，没有保留，有的只是技术人员之间最直接的碰撞与对接。

谢凯的笔记密密麻麻记了十几页，不仅包括技术要点，还标注了各单位对接人、下一步协同节点、需要红星所协调的资源清单。

离开时，孙科长一直将三人送到厂门口：“清单正式收讫，所有技术要求我们确认无误。请转告刘星海教授和‘星河计划’领导小组，上海机床厂保证完成任务！明年一季度，气浮导轨和激光干涉测量系统的工程样机一定拿出来！”

上午的对接顺利得让人振奋。

三人走在黄埔江边，这座城市，既有外滩的百年风华，也有漕河泾、杨树浦的工业脉搏；既有岳阳路的学术静谧，也有南京路的市井繁华。

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