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第293章 古城上的星河(第2页)

“刘教授那边,动作很快。”

他缓缓说道,“就在我们离开北京的第二天,也就是11月18日,刘教授在所里召开了技术论证会。参会的有北大物理系的钱教授、清华电子系的赵老师、北京电子管厂的李总工、工业学院的文昭南教授,还有真空所的顾赟工程师。”

吕辰和谢凯屏息静听。

“他们就文昭南教授提出的‘电子光学仪器’,也就是我们说的扫描电镜原型机进行了讨论。”

宋颜教授的语气变得凝重,“但会议一开始,就陷入了激烈的争论。”

他顿了顿:“北大的吴教授坚持要求‘高起点’,他认为既然要搞,就应该瞄准国际先进水平,分辨率至少要达到几十纳米,甚至更高。他带来了厚厚一沓国外文献,说日本、美国都已经有了商品化的扫描电镜,我们不能总是跟在别人后面爬行。”

“我们电子系的林教授则更务实。”

宋颜教授继续说,“他认为高分辨率意味着对电子枪亮度、电磁透镜像差、真空度、机械稳定性等一系列指标的极限要求。以我们现有的工业基础,短时间内不可能全部突破。他建议分阶段走,先解决‘有无’问题。”

谢凯插话:“电子管厂那边呢?他们生产示波管和显像管,电子枪和真空系统应该是他们的强项。”

宋颜教授点头:“李总工确实带来了好消息。他们说,基于现有示波管的生产线,可以试制小直径的电子枪和简单的电磁透镜线圈。但问题在于成本和时间,如果按照北大的高指标,所有部件都要重新设计、开模、试制,光模具费可能就是天文数字,而且至少需要一年以上的周期。”

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“文教授和顾工呢?”

吕辰问。

“他们俩是用户,只是定义了需求,两不相帮。”

宋颜教授露出一丝笑意,“文教授说,理论研究可以仰望星空,但工程实现必须脚踏实地。他建议先明确这台机器的首要使命,不是去跟国外的实验室仪器比分辨率,而是要能真正解决真空所、半导体所、长光所当前科研生产中看不见的痛点。”

文教授认为,只要能回答薄膜表面有没有针孔?光刻胶图形边缘是否整齐?硅片上的缺陷长什么样?这些问题,哪怕只是模糊地回答,这台机器就值了!

吕辰心中一动,这是他的想法。

“顾工更具体。”

宋颜教授接着说,“他觉得,可以最低点起步,先验证原理,再一步步改进。每一步改进,都要有明确的应用目标牵引。”

“后来呢?”

谢凯追问。

“后来,还是刘教授拍板,”

宋颜教授的声音里带着敬佩,“刘教授提出了一个三阶段目标。”

他竖起三根手指:“第一阶段,‘看得见’。造出一台能成像的机器,分辨率不追求多高,哪怕只有几微米,只要能让我们看到薄膜表面、光刻图形、材料断口的宏观形貌,就是胜利。这个阶段,核心是验证电子光学系统、真空系统、扫描控制系统、信号检测系统的基本可行性。”

“第二阶段,‘看得清’。在第一阶段的基础上,优化电子枪、改进透镜、提高真空度、增强机械稳定性,将分辨率提升到亚微米级。这个阶段的目标,是能够观察晶粒边界、微小缺陷、薄膜的微观结构。要建立完整的工艺规范和质量控制体系。”

“第三阶段,‘看得懂’。在前两个阶段的基础上,增加成分分析功能——比如文教授说的X射线能谱分析,或者俄歇电子谱分析。让这台机器不仅能看形貌,还能分析材料的元素组成、化学状态。这才是一台完整的材料分析仪器。”

宋颜教授放下手:“刘教授认为,这三个阶段不是割裂的,而是循序渐进的。第一阶段成功了,我们就有了继续前进的基础和信心;第一阶段失败了,损失也有限。但如果我们一开始就瞄准第三阶段,可能会因为目标太高、战线太长,最终什么都做不出来。”

吕辰深深点头。

这正是系统工程思维的精髓,化整为零,分步实施,迭代前进。

“最后达成共识了吗?”

谢凯问。

“达成了。”

宋颜教授脸上露出欣慰的笑容,“经过整整一天的激烈讨论,最终成立了‘星河计划电子光学仪器攻关协作组’。”

他从大衣内兜掏出一张折叠的纸,展开。

“北京大学吴教授担任协作组组长,负责理论设计与系统总成。我们电子系的林教授担任副组长,负责精密机械、自动控制与系统总装集成,兼日常协调。”

“具体的,北京大学负责电子光学理论、电磁透镜设计、系统总体方案;清华大学负责机械结构设计、自动控制系统、总装集成与测试;北京电子管厂负责电子枪试制、高压电源、部分真空部件;真空所负责真空系统设计与集成、样品室、工艺经验支持;长光所负责精密光学机械加工;我们红星所负责控制电路、信号处理、项目协调与资源保障;工业学院的文昭南教授团队负责信号检测理论与方案、跨单位技术衔接。”

宋颜教授收起纸张:“依我看,这个协作组并不是临时拼凑,而是要建立长期、稳定、制度化的合作机制。各单位抽调的人员要相对固定,每周至少开一次协调会,每月向‘星河计划’领导小组汇报进展。所需经费,由红星所牵头申请,纳入国家科研计划保障。”

他看向吕辰和谢凯:“刘教授还说,等我们回去,要我们全程参与这个项目。特别是你,小吕,刘教授说你在系统集成和需求定义方面有独特的眼光,要你在用户需求和技术实现之间做好翻译。”

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