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第292章 扫描电镜（第2页）

他们熟悉电子管，熟悉真空技术，但吕辰描述的这个世界，用一层几十个原子厚的薄膜来控制电流，将成千上万个这样的结构集成在指甲盖大小的硅片上，完全超出了他们的想象。

“可是……这怎么可能？”

一位头发花白的老工程师喃喃道，“那么薄的膜，怎么控制厚度？怎么保证均匀？怎么测量？”

“这正是问题的关键。”

吕辰放下粉笔，“难点不在于原理，化学反应你们已经掌握了。难点在于，如何将你们所有的经验，从一门依赖老师傅‘手感’和‘直觉’的‘艺术’，变成一套可重复、可量化、可设计的‘精密科学’。”

他回到座位，语气更加恳切：“刘师傅能通过观察浮子位置估算流量，这很了不起。但如果能给他一个质量流量控制器，让流量精确到每秒多少毫升；如果能给他的加热系统装上更精确的温度控制器，让温度稳定在±1°C；如果能用质谱仪实时监测反应腔内的气体成分；如果能用椭圆偏振仪在线测量膜厚……那么，他的经验就不再是‘黑箱’，而可以转化为数学模型，可以写成工艺规范，可以教给其他人。”

顾赟深吸一口气：“吕辰同志，你说的这些设备，我们听说过，但买不到，也造不出来。一台进口的质量流量控制器，要几万美元，还得外汇。椭圆偏振仪，我们这台自制的，已经是所里最精密的仪器了。”

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“所以我们需要合作。”

宋颜教授接话道，“红星所有‘掐丝珐琅’电路板的经验，有脉冲电机的控制技术，有正在研发的‘电子耳朵’传感系统。我们也许可以从最简单的开始。”

他提出了两个具体方向：“其一，我们可以共同研制一个简易‘射频辉光放电’实验装置。传统的热壁CVD需要高温，对许多基片材料不友好。射频辉光放电可以在较低温度下实现薄膜沉积，这对未来在硅片上集成多层结构至关重要。”

“其二，我们可以为你们的沉积系统加装自制的、基于‘掐丝珐琅’电路的简易温度-流量程序控制器。不需要一步到位达到国际水平，但至少可以做到：设定一个温度曲线，控制器能自动调节加热功率；设定气体流量比例，能通过步进电机驱动的针阀进行粗调。先把数据记录下来，建立工艺参数与薄膜性能的关联数据库。”

谢凯补充道：“我们还可以设计一套简易的数据采集系统，用‘掐丝珐琅’电路板做信号调理和模数转换，把温度、压力、流量这些关键参数实时记录下来。有了数据，就可以做统计分析，找到影响薄膜质量的关键因子。”

文昭南教授眼睛亮了：“这个思路好！先从‘数据化’开始。我们工业学院在自动控制理论方面有积累，可以负责算法和系统建模。真空所有工艺经验，红星所有工程实现能力，三方合作，正好互补！”

顾赟激动地站起来：“我这就写报告，向所领导申请立项！不，我直接去找所长，今天下午就开协调会！”

这时，吕辰想起一件事：“关于温度控制……我们红星所正在研发‘红外测温’技术，可以非接触式测量物体表面温度，精度很高，响应速度快。”

他顿了顿，语气变得谨慎：“但这项技术，目前还处于保密阶段，主要面向国防和重点工业应用。”

顾赟立刻明白：“我懂。我会以真空所名义，正式向红星所提出技术协作申请，走正规渠道，报上级批准。如果‘红外测温’能用到我们的沉积系统上，实现在线监测基片表面真实温度，那将是革命性的进步！”

会议气氛热烈起来，三方人员围在黑板前，你一言我一语，讨论技术细节、分工方案、时间节点。

吕辰看着这些眼睛发亮的研究人员，心中感慨。

他们此刻讨论的，还只是一些简陋的辅助设备、粗糙的数据采集系统。

但在未来，这些尝试将催生出中国的第一代半导体工艺设备，从手动控制的CVD炉，到半自动的淀积系统，再到完全计算机控制的集群式薄膜生长设备。

从“老师傅的手感”

到“工艺规范数据库”

，从“观察浮子”

到“质量流量控制”

，从“估计厚度”

到“在线膜厚监测”

——这条路漫长而艰难，但今天，就在这间简陋的会议室里，第一步已经迈出。

会议持续到中午。