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第286章 冰城机械心（第3页）

吕辰谦虚道。

包康建又介绍了在座的其他人：精密机械教研室的王副教授、机械设计教研室的李老师、液压传动教研室的孙老师、还有几位年轻助教和研究生，都是机械领域的骨干力量。

会议室不大，摆着一张长条会议桌和十几把木椅。

墙上挂着毛主席像和“自力更生，艰苦奋斗”

的标语。

桌上放着几个搪瓷茶杯，暖水瓶冒着热气。

“坐，坐！”

包康建招呼大家坐下，“一路辛苦了，先喝口热水暖和暖和。”

宋颜喝了一口水，直接切入正题：“包教授，我们这次来，主要是通报‘星河计划’各组的进展，特别是长光所光刻组和半导体所材料组的情况，同时提交一份技术清单，需要哈工大在精密机械方面提供支持。”

他从公文包里取出几份文件，一份递给包康建，其余分发给在座的其他人。

“这是长光所最新的光刻测试报告。”

宋颜翻开文件，“目前他们在实验室环境下，已经能在玻璃基板上稳定实现五微米线宽的图形曝光。但问题很多：边缘粗糙、宽度不均匀、套刻误差大……”

他详细介绍了光刻机面临的技术瓶颈：光源不稳定、物镜像差、工作台定位精度不够、温度变化导致热胀冷缩、振动干扰……

“长光所那边认为，”

宋颜继续说，“机械部分是当前最大的短板之一。工作台的重复定位精度、运动平稳性、抗振动能力，直接决定了光刻图形的精度和成品率。”

包康建认真翻阅着报告，眉头微皱。

吕辰接着补充：“半导体所那边，高纯度单晶硅的区域熔炼技术也有进展，目前能稳定提供6N纯度的硅材料。但大直径硅锭的成功率不到百分之十。问题主要在热场不均匀、熔体对流不稳定。这需要精密的热场设计和温度控制，本质上也是机械和传热问题。”

谢凯拿出了另一份文件：“这是我们根据在长光所的讨论，整理出的机械部分关键技术清单。”

包康建接过清单，仔细阅读。

清单上列着十几个具体问题，每个问题都附有简要的技术描述和期望目标。

工作台运动精度与稳定性：如何实现1微米级的定位精度和重复定位精度？如何克服±5°C环境温度波动导致的材料热胀冷缩？如何隔离地面振动和机器自身振动？

闭环反馈控制：是否可能引入气浮平台减少摩擦？能否开发基于激光干涉仪的位移测量与反馈系统？控制响应频率需要达到多少赫兹？

其他的诸如套刻对准系统、精密传动机构、热管理与温度控制、振动隔离、材料与结构、长期稳定性等

每一个问题都直指精密机械的核心难点。

会议室里安静下来，只有纸张翻动的沙沙声和暖气管片的嗡鸣。

哈工大的几位老师传阅着清单，表情越来越严肃。

王副教授道：“宋教授，宋教授，这份清单……要求很高啊。微米级定位精度，在实验室环境下，我们通过精心调试能做到。但要稳定、可重复，还要抵抗温度变化和振动干扰……这需要系统性的解决方案，不是单点突破能解决的。”

李老师接话：“尤其是闭环控制。我们现在做的机床，大多是开环控制——给个指令，走到哪算哪。靠的是传动机构本身的精度。要闭环，就要有高精度的传感器、快速的控制算法、响应速度够快的执行机构……这一套系统，我们没做过。”

孙老师比较年轻，说话更直接：“激光干涉仪我听苏联专家讲过，原理知道，但咱们国内做不出来。气浮平台更不用说了，那东西要压缩空气，要精密节流阀，要气路设计……咱们连见都没见过。”

包康建等大家都说完，缓缓开口道：“清单上的问题，都是真问题。有些我们想过，有些没想到这么深。宋教授，你们提的这些，不是‘改进’，是‘革命’——要颠覆我们现有的机械设计理念和方法。”

他顿了顿，目光扫过吕辰和谢凯：“不过，既然‘星河计划’定了这个方向，哈工大没有退缩的道理。我们在精密机械、仪器制造方面有积累，有队伍，有条件攻坚。”

宋颜点点头：“包教授，我们不是要求马上解决所有问题。这份清单，是‘星河计划’未来三到五年需要攻克的技术目标。”

包康建点头：“这样也行，清单我们先留下，组织骨干力量研究一下，看看哪些能做，哪些需要外协，哪些还得从头摸索。”

他看了看表：“今天时间不早了，你们一路奔波，先休息。我已经安排好了招待所，晚饭咱们一起吃，边吃边聊。明天上午，我们组织一个正式的技术研讨会，把相关教研室的老师都叫来，咱们系统性地讨论。”

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这个安排合情合理。

技术问题复杂，不是一两次会议能定下来的，需要充分酝酿。