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第281章 光学圣地（第2页）

哈工大的周工笑道，“我们在所里搞了大半年机械平台，你们红星所在自动化方面的威名，我们早有耳闻，咱们一定要好好交流交流。”

上海机床厂的刘工推了推眼镜：“我们厂负责精密工作台的加工，遇到不少工艺难题。听说你们在‘掐丝珐琅’电路板上解决了类似问题，很想取取经。”

武水院的赵工说话直接：“电网稳定是精密设备的基础。你们搞自动化，对电力质量要求肯定也高，咱们有共同语言。”

这意外却合理的相遇让吕辰精神一振。

光刻机的研发果然不是光机所一家之事，而是全国协作的系统工程。

晚饭是简单的东北菜，但有一碗热气腾腾的酸菜白肉汤，在寒冷的冬夜格外暖胃。

席间，话题自然转向技术。

“陈副所长，”

宋教授开口，“光刻技术是集成电路制造的关键，这次来就是想深入了解你们的进展和困难。”

陈光远放下筷子，神情严肃：“我们目前已经能在玻璃基板上稳定刻划出线宽5微米左右的图形，但离集成电路需要的2微米甚至更细，还有不小差距。”

“瓶颈在哪里？”

宋教授问。

“多方面。”

张工说，“首先是光源。高压汞灯紫外输出不稳定，能量起伏导致曝光不均匀。其次是物镜——我们自研的复消色差物镜，理论分辨率能达到2微米，但实际装调后，像差、畸变控制不理想。”

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哈工大的周工插话：“机械部分问题也大。我们设计的工作台用蜗轮蜗杆传动，理论定位精度能达到微米级。但实际运行中，温度变化、振动、导轨磨损……各种因素叠加，重复定位精度就下来了。”

上海机床厂的刘工点头：“加工精度也有极限。我们厂能做蜗轮蜗杆，但齿形误差累积起来，传到工作台末端，误差就放大了。而且材料热处理后的尺寸稳定性，还需要改进。”

武水院的赵工接着说：“电力质量问题。我们测试过，所里电网电压波动能达到±10%，频率也有漂移。对精密设备来说，这是致命的。”

王工叹了口气：“最头疼的是套刻误差，两次曝光对不准，图形就重叠不上。平均偏移3微米，最大达到8微米。这个误差对集成电路是致命的。”

吕辰认真听着，这些问题的根源他前世在书本上都读过：需要更稳定的光源、更精密的物镜设计、闭环反馈系统、更纯净的电力……但在1962年，这些技术要么不存在，要么刚刚萌芽。

“我们听说你们在‘掐丝珐琅’电路板方面取得了突破。”

陈光远看向吕辰，“那种工艺对精度要求也很高。你们是怎么解决类似问题的？”

吕辰想了想：“陈副所长，我们的‘掐丝珐琅’工艺本质是‘以粗代精’。铜线直径0.5毫米左右，误差允许0.1毫米——靠熟练工人的手感就能达到。但光刻需要微米级精度，差了两个数量级。”

他顿了顿：“不过，我们在质量控制上的一些思路也许有借鉴意义。我们建立严格的工艺规范，每道工序都有明确的参数范围和检验标准。记录每一批产品的数据，分析波动规律，找出影响质量的关键因素。虽然‘精度’不高，但‘一致性’在逐步提升。”

陈光远若有所思：“数据积累、过程控制……工业化管理的路子。”

“是的。”

吕辰点头，“精密技术不能只靠个别老师傅的手艺，必须把经验转化为可重复、可传授的工艺规范。哪怕一开始规范不完美，但只要有数据积累，就能不断优化。”

哈工大的周工眼睛一亮：“这个思路好！我们搞机械的，老师傅调导轨间隙，手感玄得很。要是能把‘手感’量化成数据……”

“我们也尝试过。”

上海机床厂的刘工说，“但加工中的变量太多：刀具磨损、冷却液温度、材料批次差异……记录不过来。”

武水院的赵工笑道：“我们电网监测倒是一直在记录数据。电压、频率、谐波……积累了几年，确实找出了一些规律。比如每天下午两点，厂区大电机启动时，电压会骤降。我们就调整了供电方案。”

陈光远看向吕辰：“听说你在半导体所建议了‘光学记录装置’和‘模型实验’？”

吕辰一愣。

陈光远笑了：“王守方所长昨天给我打电话，把你那两个建议夸了一通。说你们走后，所里连夜开会决定尝试。他还让我转告，要谢谢你的建议。”

小间里的人都笑了起来。

“小吕你也要多给我们提主意。”

陈光远语气温和：“年轻人敢想敢说，是好事。我们这些老家伙有时容易陷入思维定式。听听不同角度的声音，没准真能打开新思路。”

晚饭在轻松的技术交流中结束。

陈光远嘱咐三人好好休息，明天一早开始正式参观。