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第424章
这让罗曼诺夫有些不服气,周博或许是军工天才,但在硅冶炼这个领域,罗曼诺夫对自己有绝对自信。
听到周博主动问他,罗曼诺夫皱眉道:“我正要谈反应炉的问题,我和郭维达瓦里希在技术上有些分歧,你来看一看吧!”
周博点点头,郭维是中方技术负责人,他的技术路线是周博提供的。
所谓的技术分歧,周博心里已经大概有了数。
“那好,我们看看!”
说着,众人向着车间走去。
从硅矿石到高纯硅,不是一步完成的。
按照硅提纯的步骤,硅片厂建设了三大车间。
第一车间是电弧炉车间,负责硅矿石第一步冶炼,使二氧化硅与碳发生反应,生成粗硅(也称冶金级硅),纯度约为95%~99%。
第二车间是酸洗车间,通过酸化反应,去除粗硅中的铁、铝、碳等杂质,提高硅的纯度至99.9%以上。
这两步都是传统工艺,双方没什么分歧。
为了快速上马,周博甚至直接照搬毛熊方案,设备也都从毛熊进口。
而第三车间是提纯车间。
将低纯硅与氯化氢(HCl)反应生成三氯硅烷(SiHCl?),然后通过蒸馏和化学气相沉积(CVD)将三氯硅烷还原为高纯度多晶硅。
纯度达到99.9999%(6N)至99.9999999%(9N)
这个方法被称为西门子法。
双方分歧就在这一步。
西门子法虽然被各国广泛采用,但传统西门子法在效率、能耗、生产成本都不太理想。
因此,周博采用了更先进的改良西门子法。
能耗显著降低,同时效率提升一倍以上。
传统西门子法中,硅的沉积率只有约10%-15%。
如果采用改良西门子法,沉积率提高到30%。
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