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第902章
还为情报部门提供了大量帮助。
这颗曾经的“定时炸弹”
,如今已成了夏国最锋利的“矛”
与最坚固的“盾”
之一。
兵工厂的会议持续了一上午,离开后,周博又来到了扬子江电子厂。
徐树青和姜明尚一起接待了他。
几人直接来到了芯片实验室里,周博问道:“最新的光刻机怎么样了?”
姜明尚笑而不语,将周博带到一个超净玻璃隔间前。
透过特制玻璃,可以看到一台庞大的设备正在运行。
银灰色的外壳上布满了精密的接口和指示灯。
透着满满的高科技感!
姜明尚语气带着兴奋:“这就是最新的DUV浸润式光刻机DK-1,目前已进入产线验证阶段,分辨精度达到180纳米,套刻后精度可达50纳米!”
“50纳米!”
周博露出喜色。
这已经先进芯片的工艺精度了!
姜明尚继续介绍道:“看这里,这是投影物镜系统,采用了自主研发的折反射设计,数值孔径达到了0.75。这是实现高分辨率的关键。”
周博端详着这台庞然大物:“光源系统呢?”
“氩氟激光器,输出波长达到193纳米。”
姜明尚指向光刻机后部的一个密封单元,“这里就是浸润系统。
在一级物镜和硅片之间填充了高纯度去离子水,利用水对光的折射效应,有效将分辨率提升了35%以上。”
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