倍福文学

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第902章（第1页）

第902章

还为情报部门提供了大量帮助。

这颗曾经的“定时炸弹”

，如今已成了夏国最锋利的“矛”

与最坚固的“盾”

之一。

兵工厂的会议持续了一上午，离开后，周博又来到了扬子江电子厂。

徐树青和姜明尚一起接待了他。

几人直接来到了芯片实验室里，周博问道：“最新的光刻机怎么样了？”

姜明尚笑而不语，将周博带到一个超净玻璃隔间前。

透过特制玻璃，可以看到一台庞大的设备正在运行。

银灰色的外壳上布满了精密的接口和指示灯。

透着满满的高科技感！

姜明尚语气带着兴奋：“这就是最新的DUV浸润式光刻机DK-1，目前已进入产线验证阶段，分辨精度达到180纳米，套刻后精度可达50纳米！”

“50纳米！”

周博露出喜色。

这已经先进芯片的工艺精度了！

姜明尚继续介绍道：“看这里，这是投影物镜系统，采用了自主研发的折反射设计，数值孔径达到了0.75。这是实现高分辨率的关键。”

周博端详着这台庞然大物：“光源系统呢？”

“氩氟激光器，输出波长达到193纳米。”

姜明尚指向光刻机后部的一个密封单元，“这里就是浸润系统。

在一级物镜和硅片之间填充了高纯度去离子水，利用水对光的折射效应，有效将分辨率提升了35%以上。”