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“是,大大!”
6飞咧着嘴笑。
好感度是不是已经刷爆了?
“说了多少遍,工作的时候称职务,下不为例,等会儿去我家里吃饭。”
沙领导勉励地拍了下他的肩膀。
而后,在尹志尧等人的带领和介绍下,从生产线到实验室,一路走到刻蚀设备。
“这就是9onm刻蚀机?”
“是的,我们现在正在攻克65nm刻蚀技术,追上国际第一梯队,到那个时候,在存储芯片领域,就再也不怕被国外卡脖子。”
6飞昂着下巴,一脸自信。
跟手机的逻辑芯片不同的是,存储芯片无论是dram内存还是nand闪存,对于制程要求并不高,生产制造的核心设备,也不完全依赖像asm1的euv光刻机。
3dnand闪存,更因为难度极高,提升密度完全靠对堆栈层数,就更需要成熟落后的工艺保证可靠性,反而不能上先进工艺。
比如长江存储的3d闪存,就是9onm制造工艺,而不是国际一流的65nm。
“不要掉以轻心,芯片制造除了刻蚀机,还有光刻机,这方面我们落后了国际一两代。”
沙领导笑着提醒。
“您放心,存储芯片这块,刻蚀机比光刻机更重要,只要有中微在,长江存储暂时非常安全,至于光刻机,微电子已经造出9onm的光刻机,复芯、长江存储采购了4台。”
6飞伸出了四根手指,“而且中微现在也上马了光刻机项目,正在攻克9onm。”
“你们还准备研光刻机?”
沙领导不由一惊。
尹志尧回答说:“已经按照6总的要求,和中电科、春城光机、华为、中芯等单位建立合作关系,成立光刻机联合攻坚联盟。”
“嘿嘿,其实我们只是配合。”
尹志尧一五一十汇报,上头在“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”
科技重大专项中,把euv光刻技术列为“32-22nm装备技术前瞻性研究”
重要攻关任务,春城光机作为牵头单位,虽然有中科院、沪市光学精密机械研究所等科研单位技术支持,但仍然势单力薄。
尤其是,只恨财力不足!
“所以我拉上了中电科、华为、中芯。”
6飞语气坚定,“光刻机从前国内一直以来只有微电子一家,跟集美日欧韩产业链于一体的ams1,不光体量上,数量上就不是一个级别,绝对不能让微电子孤军作战。”
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