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839 最后的战役二（第2页）

“是啊，经过这么多道曝光，任何一道工序失败，都可能满盘皆输，成本就上来了……”

领导们来回分析，议论纷纷。

陆飞只能一一回答，“损害寿命肯定会损害，良率低也肯定会低一些，成本自然也就会高一点，但这是没有办法的办法，目前EUV光刻机国产化要实现彻底突破，还有不少技术难题摆在面前，需要时间去攻破。”

（）;（）　　“比如呢？”

沙领导投去问询的目光。

“光刻机的技术难点主要集中在光源、反射镜、工作台，现在双工作台已经解决了，光源问题也突破了，就剩下物镜系统。”

陆飞直说道：“AMSL、尼康的光刻机用的是蔡司的技术，但蔡司愿意卖给AMSL、尼康，但绝对不会出口给我们。”

然后叹了口气，“没办法，我们只能从零开始，联合长春光机、徕卡、华为等联合研发，现在搞定了DUV浸润式的物镜系统，至于EUV的，恐怕需要很长一段时间。”

“那这期间，复芯、中芯的晶圆代工，有没有可能会被台积电、英特尔的差距拉大？”

郑韩皱了皱眉。

“肯定会，但好在情况并不糟糕。”

陆飞笑道：“虽然5nm是目前我们的极限，理论上而言，台积电、英特尔、三星这些有EUV光刻机的，制程工艺甚至可以冲击到1nm，但得到的回报并不会太高。”

不少领导感到奇怪，“为什么这么说？制程工艺难道不是越先进越好嘛？”

“理论上是这样，但事实是现在全球智能机领域已经有‘性能过剩’的趋势，搭载5nm芯片的手机体验，未必就不如3nm，就会让3nm及以下工艺陷入一种尴尬的地步，飙升的成本却只得到微弱的性能提升。”

陆飞嘿然一笑，“反倒是28nm、14nm和7nm这三个节点的工艺才是市场主流，特别是我们国内绝大部份的芯片需求，所以有了国产的DUV浸润式光刻机，基本可以保证我们不会也不怕被卡脖子，也能保证支撑到我们研发出EUV光刻机的那一天。”

众人两两相望，相视一笑。

确实，28nm是集成电路产能中划分中低端跟中高端的分界线。

除了对功耗要求比较高的CPU、GPU、AI芯片外，其余的工业级芯片用的都是28nm以上的技术，比如电视、空调、汽车、高铁、火箭、卫星、工业机器人、电梯、医疗设备、智能手环、无人机……

但现在，7nm，甚至不计任何代价，极限可以推到5nm，简直是绰绰有余。

“你们在资金上、政策上、人才上，或者在其他方面，有没有什么需要我们解决的？”

沙领导慈眉善目。

陆飞也不客气，立马张口。

一个敢提，一个敢接。

“我还有个提议，希望领导们能支持。”

“说。”

“是这样，逻辑这些年一直跟水木大学开展了比较另类的秘密项目，那就是研究直接跳过光刻机，建立光刻厂和光刻车间。”

“光刻厂和光刻车间？！”

沙领导、郑韩等人或多或少感到惊讶。

“对，安装和调试一台DUv光刻机需要至少一年的时间。”

陆飞一本正经说，“而如果直接造光刻厂，把光刻机的整个供应链连接起来，就可以摆脱以往单台光刻机的生产模式，转为流水线生产，根据不同的精度需求，大规模生产各类精度的光刻机，就能把光刻机，甚至芯片价格打下去，你们觉得怎么样？”

“嘶～”

现场技术领域的领导立刻窃窃私语起来。

“多条路，就多种选择，大胆去试，放手去干，我们永远是你们的坚实后盾。”

沙领导拍了下陆飞的肩膀。

“是，领导！”