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第44章 研制出一台真正的光刻机（第1页）

谭渊这还是第一次被邀请来到宋羽燃的家里。

他只觉得心脏怦怦直跳，一路上不由得开始胡思乱想起来。

这么晚了，师姐还让自己来到家里，是不是……想要和他干点什么？

她是不是……同意他的表白了？

是不是……终于想起自己是谁了？

毕竟，师姐小时候可是亲口答应过，长大以后要牵着他的手，跟他一起走进教堂的！

“谭渊，你在这里等一等。”

一进家门，宋羽燃便让谭渊在客厅里等一会儿，然后自己走进了里面的卧室。

很快，她就从卧室里走了出来，手里还拿着……一台笔记本电脑和一叠纸、一支笔。

“不好意思这么晚叫你上来，我想……你可不可以帮我讲解一下光刻机的工作原理？”

宋羽燃坐在谭渊的身边，有些为难地说道，“毕竟你是哈佛大学，物理学毕业的高材生，比我这个学计算机的要懂的多多了。”

谭渊站在原地，满脸的黑线……

原来，还是为了光刻机啊！

“怎么了？是不是……太晚了，你该休息了？”

宋羽燃小心翼翼地开口。

谭渊无奈地叹了一口气。

“没有，当然可以的师姐。不过……这个光刻机可不是一时半会儿能讲完的，怎么也得个把小时，你……可以坚持的住么？”

“没问题，我平时睡得也比较晚！”

宋羽燃欣然道。

宋羽燃家客厅没有沙发，只有一张不大的书桌，宋羽燃搬了两把椅子，与谭渊肩并肩坐在一起，将笔记本电脑和纸笔推到了他的面前，说道：“开始吧。”

谭渊点了点头，先是打开电脑，搜索出了阿斯麦公司的官方网页，点了进去，然后停在EUV光刻机的页面：

“其实，我在哈佛大学也不是研究光刻机这个方向的，不过我选修过光学原理这门课，正好那个老师教了我们光刻机的工作原理，所以我了解一些。”

“师姐你看，这台就是世界上最先进的光刻机，EUV光刻机。它的光源为极紫外光，波长为13.5纳米，这种EUV的光源，是通过高能激光轰击金属锡激发的等离子体产生的……”

谭渊一边说着，一边拿过一张白纸，在白纸上首先画出一道光波，然后又在下面写了EUV几个字。接着他继续说道：

“与EUV光源相对应的，是DUV光源，通常使用氟化氩激光（ArF），波长为193纳米，广泛应用于28纳米及以上的制程节点……”

夜渐渐深了。

窗外万籁俱寂，窗内，一盏暖黄色的灯光安静地亮着……

谭渊一边将，一边在纸上做着记录，不知不觉就写了四五页的纸，还在另外一张白纸上，工工整整地在画起光刻机的内部构造来。

宋羽燃则坐在谭渊身旁，认真地听着她的讲解。

这些知识对于她这个计算机系的女博士来说，实在是过于深奥，不过宋羽燃很聪明，在谭渊细致耐心的讲解下，很快便理解了其中的原理。

最后，随着谭渊纸上的那台光刻机的模型画完，宋羽燃终于恍然大悟，原来，光刻机的原理是这样的！

她也知道了为什么现在华国，还造不出像阿斯麦光刻机那样先进的光刻机，主要还是制造工艺和光源系统受限的问题。

“师姐，你还有什么问题么？”

谭渊耐心地询问道。

“嗯，目前没有了。”

宋羽燃嫣然一笑，“谢谢你，谭渊。我现在终于对光刻机有了全面的了解，你讲的真的棒！”

“那……”