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第一八二六章 不要轻视尼康公司（第1页）

“董事长，尼康方面要是请我们帮忙为dsp-1oo升级双工作台系统，我们是否答应？”

去年2月，尼康方面花钱请bsenetsR-s3o8F干式光刻机升级相匹配的双工作台系统。

在攻克193nm波长的世界性光学难题上，bsenetm波长的浸润式技术，nikon和netm波长的干式技术。

按照当初同尼康公司签订的授权技术专利的许可合同，bsenetsR-s3o8F干式光刻机，升级相匹配的磁悬浮式双工作台系统。

孙董事长没有同意！

“魏总，不要答应！”

“好的，董事长！”

1993年7月，在孙健的“指引”

下，邓国辉院士挂帅，钟德伟教授和夏季常教授担任副组长的联合攻关组，研制成功为光刻机配套的世界套磁悬浮式双工作台系统（包括硬件和软件），原理是二个平台交替工作，一个平台在做晶圆曝光时，另一个平台做量测、矫正等后续任务，然后二个平台交换位置，整个过程在一个小时内重复225次，能提高晶圆生产效率35%，这项世界创的明专利属于前世三大光刻机核心专利技术之一。

通过多次升级，如今一个小时内达到了285次。

孙健没有藏着掖着，bsec当时对外公开承诺，等拿到公司明专利后，向全球光刻机公司许可技术专利。

在18个月的漫长等待后，1995年2月，bsec获得欧美、日本和韩国等国专利局授予的公司明专利后，按照当初的承诺，分别同asmL、nikon和net等签订许可合同，授权技术专利；专利使用费相当于每台光刻机售价的1%。

从此，bsec有了名气，也有了吃饭的本钱！

精明的孙健不会做一锤子买卖！

bsec当初没有向尼康等公司转让这项技术专利，专利权仍归bsec所有，被授权人仅获得在约定范围内使用该专利的权利。

许可合同规定，由bsec统一升级。

许可合同还规定，被授权人未按时支付专利使用费、私自升级等侵权行为和违反使用范围约定等情况，bsec有权按照许可合同约定收回专利授权。

1993年8月，gca同bsec签订了磁悬浮式双工作台系统专利和arF准分子激光器专利互换协定，都有对方软件的源代码，可以自行升级，gca不需要支付双工作台的专利使用费。

gca多次升级的双工作台系统专利还属于bsec所用。

孙健从夏季常院士的口中得知，双工作台的核心技术是如何精准控制、加度、避免震动、避免热等方面？

1996年9月，asmL也研成功全球第二种双工作台技术，如今还落后bsenetxt14ooi上使用还是bsec许可的最新一代磁悬浮双工作台系统。